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진공상태의 정도

물리적인 방법에 의해서 박막(얇은 막)을 제작할 때에는 박막을 만들려는 물질에 에너지를 가하여 공간중에서 원자,분자의 집합체를 만들어 기화시키고 다른장소에서 결합 또는 응축시키게 합니다. 이 과정에서 만약 기화한 물질과 공기가 함께 있다면 (1)박막물질의 직진이 방해되고, 공간중에서 이슬과같은 작은 입자가 형성되어 평평한 박막을 만들기가 어렵게 됩니다. (2)공기분자가 박막중에 들어가 불순물이 됩니다. (3) 공기중의 활성분자가 박막물질과 화합물을 만듭니다. (4) 기화, 증발을 위한 가열장치나 증발물질과 공기분자가 화합물을 형성하여 정상증발이 불가능하게 됩니다. 여기서 공기분자를 박막제작을 위한 장치에서 배제할 필요가 생깁니다. 이것을 배기라고 하고, 공기가 1기압 이하의 압력으로 배기된 상태를 실험물..

업무상 필요한 지식, 자료, 상식 2014.04.28
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桑田碧海

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